사업소개

기술소개



Czochralski method

성장개요

RF-Coil에 의해 형성되는 전자기장에 의해 원료를 용융 시키는 방법으로 단결정 성장 공정에서 Seed를 회전시켜
단결정 Ingot의 형상을 균일하게 제어 가능

고품위 단결정 성장 핵심기술

  • 성장로 내 온도구배 제어 기술
  • 용융물, 불순물 농도 제어 기술
  • 회전 / 인상속도 제어 기술